21世紀經濟報道記者張賽男 實習生徐蕊 上海報道

絲毫不受減持半導體龍頭的影響，國(guo)家集成電(dian)路產(chan)業投資基金股份有(you)限公(gong)司(簡(jian)稱“大(da)基金”)二期馬不停蹄地再(zai)次布(bu)局(ju)半導體領域(yu)。

10月(yue)18日晚間，至純(chun)科技(ji)(ji)（603690.SH）公告，公司(si)控股(gu)子公司(si)至微半導體 ( 上海 ) 有限公司(si) ( 簡(jian)稱“至微科技(ji)(ji) ” ) 擬通過增資擴股(gu)引入戰略(lve)投資者并進(jin)行部分股(gu)權轉讓。

根據公告，本次(ci)新引入的戰略投(tou)資者共(gong)有8家(jia)，合(he)計向至微科技增(zeng)資4.2億元(yuan)。其(qi)中就包括大基金二(er)期，其(qi)余(yu)增(zeng)資方也均來頭不小。

10月19日，至純科技方面回應(ying)媒體(ti)稱(cheng)，本次引入戰投主要(yao)是(shi)以擴大濕法設備生產(chan)為主，目前的計劃是(shi)5年200臺(tai)。

至(zhi)純科技有(you)何過人之處，引來大(da)基金(jin)二期的(de)青睞？21世紀(ji)經(jing)濟報道(dao)(dao)記者(zhe)此前報道(dao)(dao)指(zhi)出(chu)，大(da)基金(jin)雖(sui)然(ran)時有(you)減持(chi)計劃流出(chu)，但并未整體(ti)退(tui)出(chu)半(ban)導體(ti)領域(yu)，而(er)是做了(le)結構性的(de)調整，尤其是轉(zhuan)移到上游急缺(que)資金(jin)卡脖子的(de)制(zhi)造和代工、設備等領域(yu)。那么(me)，大(da)基金(jin)目前在后者(zhe)的(de)布局(ju)如何？ 

至純(chun)科技是何方神圣？

根(gen)據公(gong)告，至(zhi)微科技本次擬引入(ru)投資(zi)(zi)方包括：遠致(zhi)星火、大基金二期、混(hun)改基金、中芯(xin)(xin)聚源、裝備材料基金、芯(xin)(xin)鑫鼎橡、平潭溥博芯(xin)(xin)誠股(gu)權投資(zi)(zi)合(he)伙企業（有限合(he)伙）、上海芯(xin)(xin)晟(sheng)至(zhi)遠企業管理合(he)伙企業（有限合(he)伙），合(he)計向至(zhi)微科技增資(zi)(zi)4.2 億元，其中7644萬元計入(ru)注(zhu)冊資(zi)(zi)本，其余34356萬元計入(ru)資(zi)(zi)本公(gong)積。

本(ben)(ben)次(ci)增資前(qian)，至(zhi)(zhi)微科(ke)技注(zhu)冊資本(ben)(ben)為4.55億(yi)元，估值(zhi)25億(yi)元（增值(zhi)率485.36%），對應5.4945元/注(zhu)冊資本(ben)(ben)。增資后，至(zhi)(zhi)純(chun)科(ke)技持有至(zhi)(zhi)微科(ke)技的(de)股份由99.34%降至(zhi)(zhi)77.11%；大(da)基(ji)金二(er)期、混改(gai)基(ji)金、中(zhong)芯聚源、裝備材(cai)料基(ji)金、芯鑫鼎橡分別持有3.42%、3.42%、1.71%、1.03%、1.03%的(de)股權(quan)。

按上述(shu)比例測算，大基(ji)金二期(qi)、混(hun)改基(ji)金、中芯聚源、裝備材料基(ji)金的投(tou)資(zi)金額分別為1億元(yuan)、1億元(yuan)、5000萬元(yuan)、3000萬元(yuan)。

實際上，除了大(da)基(ji)金二期，其余增資(zi)方也(ye)背(bei)景深厚。

其中(zhong)，混改基金（中(zhong)國(guo)國(guo)有(you)(you)企(qi)業混合所(suo)有(you)(you)制改革(ge)基金）是經國(guo)務院批準設立的“國(guo)家級”基金，基金總規模2000億元(yuan)，首期募集資(zi)金就(jiu)達到707億元(yuan)。中(zhong)芯聚(ju)源（中(zhong)小企(qi)業發(fa)展基金（紹興）股權投(tou)資(zi)合伙(huo)企(qi)業）的背后則有(you)(you)國(guo)資(zi)和中(zhong)芯國(guo)際。裝備(bei)材(cai)料基金（上海(hai)半導體(ti)裝備(bei)材(cai)料產業投(tou)資(zi)基金合伙(huo)企(qi)業）的股東也(ye)有(you)(you)國(guo)家大基金的身影，重(zhong)點圍繞集成電路裝備(bei)材(cai)料產業開展投(tou)資(zi)。

至(zhi)純科(ke)技為何能引來這么多(duo)明星資本(ben)的(de)青睞？從其主營業務來看(kan)，正(zheng)是國家大基金二期重點投資的(de)半導體設備(bei)領域。

公開資料顯示，至純(chun)科技(ji)主營業(ye)務包括(kuo)高純(chun)工藝(yi)系統、半導(dao)體濕(shi)法清(qing)洗設備、光(guang)(guang)傳感應用及相(xiang)關(guan)光(guang)(guang)學元(yuan)器件，而旗(qi)下至微科技(ji)的主業(ye)就(jiu)是半導(dao)體濕(shi)法清(qing)洗設備。

公司稱，至微(wei)科技成(cheng)立以來，累(lei)計(ji)已獲得來自各大集成(cheng)電路制(zhi)造領(ling)先企業的(de)(de)濕法設(she)備訂單(dan)超(chao)過160臺，成(cheng)為國(guo)內濕法設(she)備的(de)(de)主要(yao)供應商(shang)之一(yi)。此(ci)次(ci)引入戰投，是為進一(yi)步(bu)加快實(shi)現(xian)至微(wei)科技成(cheng)為國(guo)內濕法設(she)備領(ling)頭羊(yang)的(de)(de)戰略(lve)目標，提高產(chan)業資源(yuan)整(zheng)合能力。

上(shang)半年(nian)公開數據(ju)顯(xian)示，至純科(ke)技(ji)的半導(dao)體設備(bei)在快速增長。上(shang)半年(nian)公司新(xin)增訂單中半導(dao)體板(ban)塊(kuai)新(xin)增訂單14.2 億(yi)(yi)元，其中濕(shi)法(fa)設備(bei)新(xin)增訂單4.3億(yi)(yi)元，達到(dao)上(shang)一(yi)年(nian)度全年(nian)濕(shi)法(fa)設備(bei)訂單的 85%，其中單片設備(bei)新(xin)增訂單2億(yi)(yi)元。

安信(xin)證券電子行業分(fen)析師馬良向記者(zhe)指出，“此次(ci)戰投股東名單(dan)涵蓋了(le)國內頂級的半(ban)(ban)導體(ti)投資基(ji)金(jin)(jin)，表明了(le)市場對于(yu)公司(si)未來發(fa)展前景的看好。通過(guo)此次(ci)增資，公司(si)不(bu)僅增強了(le)資金(jin)(jin)實力(li)，還有利于(yu)公司(si)與國內頭部半(ban)(ban)導體(ti)公司(si)加強產業合作(zuo)，公司(si)半(ban)(ban)導體(ti)清(qing)洗設備(bei)發(fa)展有望(wang)加速。”

加速布(bu)局半導體設備(bei)領域

目前半導(dao)體(ti)設備本土生產上升到(dao)國家戰略層面，半導(dao)體(ti)設備也(ye)被公認為最“卡脖(bo)子”的環節之一。

就工藝而(er)言(yan)，清(qing)洗(xi)是(shi)貫(guan)穿半(ban)導體產業鏈的重要工藝環(huan)節，每一代(dai)制程升級將(jiang)帶來平(ping)均15%的清(qing)洗(xi)步驟增長，重要性(xing)凸顯(xian)。據臺灣(wan)工研(yan)院數據，2020年(nian)半(ban)導體清(qing)洗(xi)設備市場(chang)(chang)空(kong)間49億美(mei)元，2025年(nian)將(jiang)達67億美(mei)元。當(dang)前(qian)全球(qiu)清(qing)洗(xi)設備市場(chang)(chang)由日韓(han)巨(ju)頭(tou)壟斷，2018年(nian)，DNS、TEL、SEMES、Lam四家廠商占(zhan)據了90%以(yi)上(shang)的市場(chang)(chang)份(fen)額。

根據信達證券(quan)的(de)研(yan)報(bao)，國(guo)內有至純、北方華創(chuang)、盛(sheng)美、芯源微四家廠商重點布局，當前濕法清(qing)洗(xi)設(she)備國(guo)產化(hua)率約達20%。

公(gong)告顯示，至純科技已(yi)具備生產8-12寸高階單晶圓濕法清洗設備和槽(cao)式濕法清洗設備的相關技術，目前已(yi)可以提供28nm節點的全部濕法工藝(yi)設備，首批次單片濕法設備已(yi)交付并順利通過(guo)驗(yan)證。

作為(wei)半導體清洗設(she)備的重(zhong)點廠商(shang)之一，至(zhi)純科技受到頂(ding)級產業基金的青睞也就不(bu)足(zu)為(wei)奇(qi)。

21世紀經濟報道記者梳理發現(xian)，就目前大基(ji)金二(er)期的布局(ju)來看，已經重點向(xiang)設(she)備領域傾斜。

據(ju)(ju)啟信寶數據(ju)(ju)，除了(le)至純科技(ji)，目(mu)前大基(ji)金二期公(gong)(gong)(gong)(gong)(gong)開(kai)投資項目(mu)已有12個(ge)，包(bao)括：杭州長川智能制造公(gong)(gong)(gong)(gong)(gong)司、潤西微電子（重慶）有限(xian)(xian)公(gong)(gong)(gong)(gong)(gong)司、中芯南方(fang)集成電路(lu)制造有限(xian)(xian)公(gong)(gong)(gong)(gong)(gong)司、思特威（上(shang)(shang)海）電子科技(ji)股份(fen)有限(xian)(xian)公(gong)(gong)(gong)(gong)(gong)司、珠海艾派克(ke)微電子有限(xian)(xian)公(gong)(gong)(gong)(gong)(gong)司、紫光展銳（上(shang)(shang)海）科技(ji)有限(xian)(xian)公(gong)(gong)(gong)(gong)(gong)司等(deng)。其中有4家與(yu)半導體設(she)備相(xiang)(xiang)關，4家與(yu)晶圓制造相(xiang)(xiang)關。

申港證券分析師曲一(yi)平此(ci)前(qian)(qian)向記者(zhe)指(zhi)出，大(da)基金二(er)期的投(tou)(tou)資(zi)同樣覆蓋(gai)了(le)芯片(pian)設計(ji)、制造、封測(ce)、材料(liao)以及設備等產業鏈環節(jie)，但(dan)可看到(dao)目前(qian)(qian)仍較(jiao)多投(tou)(tou)向了(le)制造環節(jie)，更(geng)聚焦設備、材料(liao)領(ling)域，加(jia)大(da)投(tou)(tou)資(zi)。

目前(qian)，大(da)基金二期對上(shang)述(shu)總投資已近300億元，背后涉及的上(shang)市公司有(you)長(chang)川科(ke)技、長(chang)鑫(xin)存儲、中芯國際、納斯(si)達、華潤微等。